セラミックの総合研削研磨加工の名東技研|高精度加工
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超精密平面加工

高精度な平面度や平行度の加工にお応えします。

主な製品

■静電チャック・ラップレート

■真空チャック

■各種半導体製造装置部品

 
アルミナ99.5%   超精密平面加工
アルミナ99.5%
   
超精密平面加工例(ラップレート)
   
超精密平面加工例(ラップレート)
Si-Wafer用ピンチャック    
Si-Wafer用ピンチャック
   

 

Si-Wafer用ピンチャック レーザー干渉計データ

 

Si-Wafer用ピンチャック レーザー干渉計データ
 
Si-Wafer用ピンチャック レーザー干渉計データ
Si-Wafer用ピンチャック レーザー干渉計データ