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 高精度鏡面加工
 

フェーシング装置付により、より高精度な加工が可能になりました。

■フェーシング装置付片面鏡面機

フェーシング装置付片面鏡面機
フェーシング装置付片面鏡面機
 
 
名称
 15Bフェーシング装置付片面ラップ機
メーカー
 ナノテックマシーンズ
加工能力
 φ200mmMAX
加工精度
 平面度1μm以下
 平行度1μm以下
 
 高精度大型鏡面加工
 

表面粗さ、平面度について高精度な加工が可能です。

■主な製品
静電チャック・ラッププレート・真空チャックなど各種半導体製品
■加工例

高精度大型鏡面加工

高精度大型鏡面加工

加工能力
φ500mmMAX
加工精度
材質
表面粗さ
Raμm
平面度
アルミナ
0.01
<2μm/500mm
ZrO2
0.01
Si3N4
0.01
SiC
0.005
ALN
0.02
カーボン
0.01
SUS
0.003

加工データー(製品サイズφ350mm×8mmT)

 

■測定データー
【表面粗さ】

表面粗さのデータ

縦倍率
=
1000
横倍率
=
20
縦目盛
=
10μm/10mm
横目盛
=
500μm/10mm

 

評価長さ
=
4.000mm
評価速度
=
0.3mm/s
カットオフ値
=
0.8mm
フィルタ種別
=
2RC
測定レンジ
=
±40.0μm
傾斜補正
=
直線
カットオフ比
=
無し
Ra
=
0.022μm
Rt
=
1.511μm
Rmax
=
1.539μm
Rz
=
0.916μm
 

【平面度】

平面度のデータ

縦倍率
=
2000
横倍率
=
1
縦目盛
=
5μm/10mm
横目盛
=
10μm/10mm

 

評価速度
=
3.0mm/s
カットオフ値
=
8.0mm
フィルタ種別
=
2RC
測定レンジ
=
±40.0μm
傾斜補正
=
直線
λs値
=
無し
WC-a
=
0.365μm
WCM
=
1.663μm