セラミックの総合研削研磨加工の名東技研|大型両面ラップ加工
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 高精度大型両面ラップ加工
 

平面度、平行度について高精度な加工が可能です。

■主な製品
静電チャック・ラッププレート・真空チャックなど各種半導体製品

 
■加工例
■ラッピング加工(イメージ図)
高精度大型ラップ加工例 ラッピング加工(イメージ図)
 
加工能力
 φ460×1〜50mmT
 □325mm×1〜50mmT
加工精度
 平面度1μm
 平行度1μm
 寸法10μm


■加工データー(製品サイズφ350mm×8mm)

■平面度測定データー

平面度測定データ

 

縦倍率
=
2000
横倍率
=
1
縦目盛
=
51μm/10mm
横目盛
=
_10mm/10mm
測定速度
=
3.0mm/s
カットオフ値
=
0.8mm
フィルタ種別
=
2RC
測定レンジ
=
±400.0μm
傾斜補正
=
直線
λs値
=
無し
WC-a
=
0.141μm
WCM
=
0.975μm